3.2.2.1. XYZ

Figure 23. XYZ 탭

Figure 24. XYZ Stage

Pulsed Laser 장비의 XYZ 스테이지를 컨트롤 하는 페이지입니다. 각 기능의 설명은 다음과 같습니다.

• XY Step: XY에 해당하는 방향키를 한 번 클릭했을 때 이동하는 거리 (Continuous control이 아닐 때 적용)
• Z Step: Z에 해당하는 방향키를 한 번 클릭했을 때 이동하는 거리 (Continuous control이 아닐 때 적용)
• XY Manual Speed: XY축 이동 스피드 (Continuous control일 때 적용)
• Z Manual Speed: Z축 이동 스피드 (Continuous control일 때 적용)
• XY Step per μm: 모터 스텝 당 거리 이동 비 (기본 값: 32, Setting에서 Developer Edit mode를 세팅하여 수정 가능)
• Z Step per μm: 모터 스텝 당 거리 이동 비 (기본 값: 5, Setting에서 Developer Edit mode를 세팅하여 수정 가능)
• Speed factor: 거리 변수 단순 곱 증가
• Continuous control: 설정 시 클릭을 유지하는 것으로 이동, 비 설정 시 한 번의 클릭으로 세팅 된 거리(Step값) 만큼 이동
• Auto Position Check: 설정 시 실시간으로 현재 위치를 계산해서 Chip Image 위에 원형 점으로 위치를 표시. (미 설정 후 Scan시 현재 위치 표시x)
• 방향키: 해당 방향으로 스테이지를 이동 (Z 스테이지의 경우 위 방향키는 렌즈와 가까워지는 방향 임으로 충돌에 유의를 요함)
• Set XY zero: 현재 위치로 zeroing 수행
• Set Z zero: 현재 위치로 zeroing 수행
• Status: 스테이지로부터 스테이터스 값 read
• Position: 스테이지로부터 포지션 값 read